明茲精密儀器（上海）有限公司400-8760-400
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奧林(lín)巴斯BX53M爲傳統的(de)工業顯微鏡檢查而設計，并擴展了(le)其功能，以滿足更廣泛的(de)應用(yòng)和(hé)檢查技術的(de)要求。奧林(lín)巴斯公司具有生産光(guāng)學元件的(de)悠久曆史，無論用(yòng)目鏡觀察，還(hái)是通(tōng)過顯示器觀察，都具備*的(de)圖像畫(huà)質。
全面可(kě)定制性模塊化(huà)設計可(kě)以爲用(yòng)戶靈活地構建滿足其特殊要求的(de)系統。
顯微檢查任務常常需要用(yòng)很長(cháng)的(de)時(shí)間來(lái)調節顯微鏡設置、獲取圖像，以及進行必要的(de)測量，從而得(de)到令人(rén)滿意的(de)報告。用(yòng)戶有時(shí)需要投入時(shí)間和(hé)金錢去完成專業的(de)顯微鏡培訓，或隻了(le)解了(le)顯微鏡全部功能的(de)很小部分(fēn)就開展工作。
奧林(lín)巴斯BX53M通(tōng)過其優良的(de)設計和(hé)便捷的(de)控制功能，簡化(huà)了(le)複雜(zá)的(de)顯微檢查任務。用(yòng)戶不需要長(cháng)時(shí)間的(de)培訓即可(kě)掌握顯微鏡的(de)大(dà)多(duō)數功能。BX53M方便而舒适的(de)操作還(hái)改善了(le)圖像的(de)再現性，最大(dà)程度減少了(le)人(rén)爲錯誤。
暗場(chǎng)觀察
暗場(chǎng)能夠觀察标本上的(de)散射或衍射光(guāng)。任何不平整的(de)部位都會反射這(zhè)種光(guāng)，而平整的(de)部位則顯得(de)很暗，因此缺陷部位就會清晰地顯示出來(lái)。用(yòng)戶甚至可(kě)以識别出極細微的(de)劃痕，或小到8nm級别的(de)缺陷 – 比光(guāng)學顯微鏡的(de)分(fēn)辨能力還(hái)要小。因此，暗場(chǎng)是檢測标本上細微劃痕或缺陷，以及鏡面标本（包括晶圓）的(de)理(lǐ)想工具。
微分(fēn)幹涉觀察
微分(fēn)幹涉是一種顯微鏡觀察技術，這(zhè)種技術把明(míng)場(chǎng)觀察所不能檢測到的(de)标本高(gāo)度差，變爲浮雕狀或三維圖像，改善了(le)圖像襯度。該技術使用(yòng)了(le)偏光(guāng)，并有三種專門定制設計的(de)棱鏡可(kě)以選擇。它是檢查具有極細微高(gāo)度差的(de)标本的(de)理(lǐ)想工具，包括金相組織、礦石、磁頭、硬盤介質和(hé)抛光(guāng)晶圓表面。
偏光(guāng)觀察
這(zhè)種顯微鏡觀察技術使用(yòng)了(le)由一套濾色片（檢偏鏡和(hé)起偏鏡）産生的(de)偏光(guāng)。标本的(de)特性直接影(yǐng)響顯微鏡反射光(guāng)的(de)強度。這(zhè)種技術适用(yòng)于金相組織（比如球墨鑄鐵上石墨生長(cháng)的(de)形态）、礦石、LCD和(hé)半導體材料。
熒光(guāng)觀察
該技術用(yòng)于通(tōng)過專用(yòng)濾色片激發塊照(zhào)明(míng)，使标本能夠發出熒光(guāng)（發出不同波長(cháng)的(de)光(guāng)），特定的(de)激發塊可(kě)用(yòng)于特定的(de)應用(yòng)。它适合于檢查半導體晶圓上的(de)異物(wù)、光(guāng)阻殘留物(wù)，以及通(tōng)過熒光(guāng)染料檢測裂縫。可(kě)以選配複消色差集光(guāng)鏡系統的(de)燈箱，以補償從可(kě)見光(guāng)到近紅外光(guāng)的(de)色差。
紅外光(guāng)觀察
IR觀察是非破壞性地檢查可(kě)以透過紅外光(guāng)的(de)矽材料或玻璃材料構成的(de)電子元器件内部的(de)方法。
透射光(guāng)觀察
對(duì)于透明(míng)樣品，比如LCD、塑料和(hé)玻璃材料，可(kě)以使用(yòng)各種聚光(guāng)鏡進行透射光(guāng)觀察。組建一個(gè)光(guāng)學系統，實現透射光(guāng)明(míng)場(chǎng)和(hé)偏光(guāng)進行樣品檢查非常方便。
奧林(lín)巴斯BX53M規格（用(yòng)于反射和(hé)反透射組合的(de)金相觀察）
光(guāng)學系統 | UIS2光(guāng)學系統（無限遠(yuǎn)校正） | |||
顯微鏡機架 | 照(zhào)明(míng) | 反射/透射 | 反射 | |
對(duì)焦 | 行程：25 mm | 行程：30 mm | ||
最大(dà)樣品高(gāo)度 | 35 mm (不含高(gāo)度适配器) | 65 mm (不含高(gāo)度适配器) | 取決-安裝配置 | |
觀察筒 | 寬視野FN22 | 倒像：雙目、三目、傾斜式雙目 | ||
超寬視野FN26.5 | 倒像：三目 | |||
反射光(guāng)照(zhào)明(míng) | 常規觀察技術 | BX3M-RLAS-S | ||
- | U-KMAS | |||
熒光(guāng) | BX3M-URAS-S | |||
透射光(guāng) | 白光(guāng)LED | - | ||
物(wù)鏡轉換器 | 用(yòng)于BF | 六孔，對(duì)中六孔，七孔，編碼五孔（選配電動物(wù)鏡轉換器） | ||
用(yòng)于BF/DF | 六孔，五孔，對(duì)中五孔，編碼五孔（選配電動物(wù)鏡轉換器） | |||
載物(wù)台 | 同軸左手（右手）操作載物(wù)台： | - | ||
重量 | 大(dà)約18.3 kg | 大(dà)約15.8 kg | 大(dà)約11.1 kg | |
BX53M規格（用(yòng)于紅外觀察）
BX53MRF-S | BXFM | ||
IR觀察筒 | 寬視野FN22 | 倒像：三目 | |
反射光(guāng)照(zhào)明(míng) | IR觀察 | BX3M-RLA-S IR用(yòng)100W/50W鹵素燈，BF/IR，AS（帶對(duì)中裝置） | |
– | U-KMAS | ||
物(wù)鏡轉換器 | 用(yòng)于BF | 六孔，對(duì)中六孔，七孔，編碼五孔（選配電動物(wù)鏡轉換器） | |
Stage (X × Y) | 同軸左手（右手）操作載物(wù)台： | – | |
重量 | 大(dà)約18.9 kg（顯微鏡機架7.4 kg） | 大(dà)約11.6 kg（顯微鏡機架1.9 kg） | |
BX53M規格（用(yòng)于偏光(guāng)觀察）
BX53MTRF-S | ||
偏光(guāng)中間附件 | 寬視野FN22 | 倒像：雙目、三目、傾斜式雙目 |
勃氏鏡 | 可(kě)對(duì)焦（僅适用(yòng)于U-CPA） | |
勃氏鏡視場(chǎng)光(guāng)闌 | 直徑Ø3.4mm（固定）（僅适用(yòng)于U-CPA） | |
切換正像鏡檢和(hé)錐光(guāng)鏡檢時(shí)加入或退出勃氏鏡 | 滑塊位置 ● 進入 | |
檢偏鏡插槽 | 旋轉式檢偏鏡插槽（U-AN360P-2） | |
檢偏鏡（U-AN360P-2） | 可(kě)旋轉360°的(de)撥盤 ,可(kě)旋轉的(de)最小角度0.1° | |
對(duì)中式物(wù)鏡轉換器（U-P4RE） | 四孔，附對(duì)中裝置：1/4λ偏振片(U-TAD)， | |
載物(wù)台（U-SRP） | 帶3點對(duì)中功能的(de)偏光(guāng)專用(yòng)旋轉載物(wù) | |
聚光(guāng)鏡（U-POC-2） | 色差無應力聚光(guāng)鏡（U-POC-2），帶外擺式消色差頂部透鏡的(de)可(kě)旋轉360°起偏鏡。 “0°”刻度處的(de)鎖定機構可(kě)調節。 | |
重量 | 大(dà)約16.2 kg（顯微鏡機架7.6 kg） | |
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